1. Remoção de partículas de poeira na sala limpa livre de poeira
A principal função da sala limpa é controlar a limpeza, a temperatura e a umidade da atmosfera à qual os produtos (como chips de silício etc.) são expostos, para que os produtos possam ser produzidos e fabricados em um bom espaço de ambiente. Chamamos esse espaço como sala limpa. De acordo com a prática internacional, o nível de limpeza é determinado principalmente pelo número de partículas por metro cúbico de ar com um diâmetro maior que o padrão de classificação. Em outras palavras, o chamado sem poeira não é 100% livre de poeira, mas controlado em uma unidade muito pequena. Obviamente, as partículas que atendem ao padrão de poeira nesse padrão já são muito pequenas em comparação com a poeira comum que vemos, mas para estruturas ópticas, mesmo um pouco de poeira terá um impacto negativo muito grande, portanto, livre de poeira é um requisito inevitável Na produção de produtos de estrutura óptica.
Controlar o número de partículas de poeira com um tamanho de partícula maior ou igual a 0,5 mícrons por metro cúbico a menos de 3520/metro cúbico atingirá a Classe A do padrão internacional livre de poeira. O padrão livre de poeira usado na produção e processamento no nível do chip tem requisitos mais altos para poeira que a classe A, e um padrão tão alto é usado principalmente na produção de alguns chips de nível superior. O número de partículas de poeira é estritamente controlado a 35.200 por metro cúbico, que é comumente conhecido como Classe B na indústria de salas limpas.
2. Três tipos de estados de sala limpa
Sala limpa vazia: uma instalação de sala limpa que foi construída e pode ser usada. Tem todos os serviços e funções relevantes. No entanto, não há equipamento operado pelos operadores na instalação.
Sala limpa estática: uma instalação de sala limpa com funções completas, configurações e instalação adequadas, que podem ser usadas de acordo com as configurações ou estão em uso, mas não há operadores na instalação.
Sala limpa dinâmica: uma sala limpa em uso normal, com funções de serviço completas, equipamentos e pessoal; Se necessário, o trabalho normal pode ser realizado.
3. Itens de controle
(1). Pode remover partículas de poeira flutuando no ar.
(2). Pode impedir a geração de partículas de poeira.
(3). Controle da temperatura e umidade.
(4). Regulação da pressão.
(5). Eliminação de gases nocivos.
(6). Tensão do ar de estruturas e compartimentos.
(7). Prevenção de eletricidade estática.
(8). Prevenção da interferência eletromagnética.
(9). Consideração de fatores de segurança.
(10). Consideração da economia de energia.
4. Classificação
Tipo de fluxo turbulento
O ar entra na sala limpa da caixa de ar condicionado através do duto de ar e do filtro de ar (HEPA) em sala limpa e é devolvida dos painéis da parede da partição ou pisos elevados nos dois lados da sala limpa. O fluxo de ar não se move de maneira linear, mas apresenta um estado irregular turbulento ou redemoinho. Este tipo é adequado para a classe de 1.000 a 100.000 espaço limpo.
Definição: Uma sala limpa onde o fluxo de ar flui a uma velocidade desigual e não é paralelo, acompanhado pelo refluxo ou corrente do redemoinho.
Princípio: as salas limpas turbulentas dependem do fluxo de ar de suprimento de ar para diluir continuamente o ar interno e diluir gradualmente o ar poluído para obter limpeza (os quartos limpos turbulentos geralmente são projetados em níveis de limpeza acima de 1.000 a 300.000).
Recursos: Salas limpas turbulentas dependem de ventilação múltipla para obter níveis de limpeza e limpeza. O número de alterações de ventilação determina o nível de purificação na definição (quanto mais mudanças de ventilação, maior o nível de limpeza)
(1) Tempo de auto-purificação: refere-se ao momento em que a sala limpa começa a fornecer ar para a sala limpa de acordo com o número de ventilação projetado e a concentração de poeira na sala atinge o nível de limpeza projetado, a classe 1.000 não deve ser mais Espera -se que 20 minutos (15 minutos podem ser usados para cálculo), a classe 10.000, não deve ser superior a 30 minutos (25 minutos podem ser usados para cálculo) que a classe 100.000 deve ser superior a 40 minutos (30 minutos podem ser usados para cálculo)
(2) Frequência de ventilação (projetada de acordo com os requisitos de tempo autônomo acima) Classe 1.000: 43,5-55,3 vezes/hora (padrão: 50 vezes/hora) Classe 10.000: 23,8-28,6 vezes/hora (padrão: 25 vezes/hora ) Classe 100.000: 14,4-19,2 vezes/hora (padrão: 15 vezes/hora)
Vantagens: estrutura simples, baixo custo de construção do sistema, fácil expansão da sala limpa, em alguns lugares especiais, bancada limpa sem poeira pode ser usada para melhorar o grau limpo da sala.
Desvantagens: As partículas de poeira causadas pela turbulência flutuam no espaço interno e são difíceis de ser descarregadas, o que pode contaminar facilmente produtos de processo. Além disso, se o sistema for interrompido e ativado, geralmente leva muito tempo para alcançar a limpeza necessária.
Fluxo laminar
O ar do fluxo laminar se move em uma linha reta uniforme. O ar entra na sala através de um filtro com uma taxa de cobertura de 100% e é devolvido pelo piso elevado ou pelas placas de partição de ambos os lados. Esse tipo é adequado para uso em ambientes de salas limpas com notas de salas limpas mais altas, geralmente classe 1 ~ 100. Existem dois tipos:
(1) Fluxo laminar horizontal: o ar horizontal é derrubado do filtro em uma única direção e devolvido pelo sistema de ar devolvido na parede oposta. A poeira é descarregada ao ar livre com a direção do ar. Geralmente, a poluição é mais séria no lado a jusante.
Vantagens: estrutura simples, pode se tornar estável em pouco tempo após a operação.
Desvantagens: O custo da construção é maior que o fluxo turbulento e o espaço interno não é fácil de expandir.
(2) Fluxo laminar vertical: O teto da sala é completamente coberto com filtros ULPA e o ar é soprado de cima para baixo, o que pode obter uma limpeza mais alta. A poeira gerada durante o processo ou pela equipe pode ser descarregada rapidamente ao ar livre sem afetar outras áreas de trabalho.
Vantagens: Fácil de gerenciar, o estado estável pode ser alcançado dentro de pouco tempo após o início da operação e não facilmente afetado pelo estado operacional ou operadores.
Desvantagens: alto custo de construção, difícil de usar de maneira flexível, cabides de teto ocupam muito espaço e problemáticos para reparar e substituir os filtros.
Tipo composto
O tipo composto é combinar ou usar o tipo de fluxo turbulento e o tipo de fluxo laminar juntos, o que pode fornecer ar ultra-limpo local.
(1) Túnel limpo: use filtros HEPA ou ULPA para cobrir 100% da área de processo ou área de trabalho para aumentar o nível de limpeza para a classe 10 acima, que pode salvar os custos de instalação e operação.
Esse tipo exige que a área de trabalho do operador seja isolada da manutenção do produto e da máquina para evitar afetar o trabalho e a qualidade durante a manutenção da máquina.
Os túneis limpos têm duas outras vantagens: A. Fácil de expandir de maneira flexível; B. A manutenção do equipamento pode ser facilmente realizada na área de manutenção.
(2) Tubo limpo: envolvendo e purifique a linha de produção automática através da qual o fluxo do produto passa e aumenta o nível de limpeza para a classe 100 acima. Porque o produto, operador e ambiente de geração de poeira são isolados um do outro, uma pequena quantidade de O suprimento de ar pode obter uma boa limpeza, que pode economizar energia e é mais adequada para linhas de produção automatizadas que não exigem mão de obra manual. É aplicável às indústrias farmacêuticas, de alimentos e semicondutores.
(3) ponto limpo: o nível de limpeza da área do processo de produto na sala limpa turbulenta com um nível de sala limpa de 10.000 ~ 100.000 é aumentada para 10 ~ 1000 ou mais para fins de produção; Babras de trabalho limpas, galpões limpos, salas limpas pré -fabricadas e guarda -roupas limpos pertencem a esta categoria.
Banco limpo: Classe 1 ~ 100.
Booth limpo: um pequeno espaço cercado por pano de plástico transparente anti-estático em espaço turbulento da sala limpa, usando HEPA ou ULPA independente e unidades de ar condicionado para se tornar um espaço limpo de nível superior, com um nível de 10 ~ 1000, uma altura de cerca de cerca de cerca de 2,5 metros e uma área de cobertura de cerca de 10m2 ou menos. Possui quatro pilares e está equipado com rodas móveis para uso flexível.
5. Fluxo de fluxo de ar
Importância do fluxo de ar
A limpeza de uma sala limpa é frequentemente afetada pelo fluxo de ar. Em outras palavras, o movimento e a difusão de poeira gerada por pessoas, compartimentos de máquinas, estruturas de construção etc. são controlados pelo fluxo de ar.
A sala limpa usa HEPA e ULPA para filtrar o ar, e sua taxa de coleta de poeira é tão alta quanto 99,97 ~ 99.99995%, de modo que o ar filtrado por esse filtro pode ser considerado muito limpo. No entanto, além das pessoas, também existem fontes de poeira, como máquinas na sala limpa. Uma vez que esses pó gerados se espalhem, é impossível manter um espaço limpo, para que o fluxo de ar deve ser usado para descarregar rapidamente a poeira gerada ao ar livre.
Fatores de influência
Existem muitos fatores que afetam o fluxo de ar de uma sala limpa, como equipamentos de processo, pessoal, materiais de montagem de sala limpa, luminárias, etc. Ao mesmo tempo, o ponto de desvio do fluxo de ar acima do equipamento de produção também deve ser levado para consideração.
O ponto de desvio do fluxo de ar na superfície de uma mesa de operação geral ou equipamento de produção deve ser definido em 2/3 da distância entre o espaço da sala limpa e a placa de partição. Dessa forma, quando o operador está funcionando, o fluxo de ar pode fluir de dentro da área de processo para a área operacional e tirar a poeira; Se o ponto de desvio for configurado em frente à área do processo, ele se tornará um desvio inadequado do fluxo de ar. Nesse momento, a maior parte do fluxo de ar fluirá para a parte traseira da área de processo, e a poeira causada pela operação do operador será transportada para a parte traseira do equipamento, e a bancada será contaminada e o rendimento inevitavelmente diminuirá.
Obstáculos como mesas de trabalho em salas limpas terão correntes de Foucault no cruzamento, e a limpeza perto delas será relativamente ruim. A perfuração de um orifício de ar na mesa de trabalho minimizará o fenômeno da corrente de Foucault; Se a seleção de materiais de montagem é apropriada e se o layout do equipamento é perfeito também são fatores importantes para se o fluxo de ar se torna um fenômeno de corrente de Foucault.
6. Composição da sala limpa
A composição da sala limpa é composta pelos seguintes sistemas (nenhum dos quais é indispensável nas moléculas do sistema), caso contrário, não será possível formar uma sala limpa completa e de alta qualidade:
(1) Sistema de teto: incluindo haste de teto, feixe I ou viga em U, grade de teto ou estrutura de teto.
(2) Sistema de ar condicionado: incluindo cabine de ar, sistema de filtro, moinho de vento, etc.
(3) Parede particional: incluindo janelas e portas.
(4) Piso: incluindo piso elevado ou piso antiestático.
(5) Luminárias de iluminação: LED Purificação Lâmpada plana.
A principal estrutura da sala limpa é geralmente feita de barras de aço ou cimento ósseo, mas não importa que tipo de estrutura seja, ela deve atender às seguintes condições:
R. Nenhuma rachadura ocorrerá devido a mudanças e vibrações de temperatura;
B. Não é fácil produzir partículas de poeira e é difícil para as partículas se conectar;
C. baixa higroscopicidade;
D. Para manter as condições de umidade em sala limpa, o isolamento térmico deve ser alto;
7. Classificação por uso
Sala limpa industrial
O controle de partículas inanimadas é o objeto. Controla principalmente a poluição das partículas de poeira do ar para o objeto de trabalho, e o interior geralmente mantém um estado de pressão positivo. É adequado para a indústria de máquinas de precisão, indústria de eletrônicos (semicondutores, circuitos integrados etc.), indústria aeroespacial, indústria química de alta pureza, indústria de energia atômica, indústria de produtos ópticos e magnéticos (CD, filme, produção de fitas) LCD (Liquid Crystal Glass), disco rígido do computador, produção de cabeças de computador e outras indústrias.
Sala limpa biológica
Controla principalmente a poluição das partículas vivas (bactérias) e partículas inanimadas (poeira) ao objeto de trabalho. Pode ser dividido em;
A. Sala limpa biológica geral: controla principalmente a poluição de objetos microbianos (bacterianos). Ao mesmo tempo, seus materiais internos devem ser capazes de suportar a erosão de vários agentes esterilizantes, e o interior geralmente garante pressão positiva. Essencialmente, os materiais internos devem ser capazes de suportar vários tratamentos de esterilização da sala limpa industrial. Exemplos: Indústria farmacêutica, hospitais (salas de operações, enfermarias estéreis), alimentos, cosméticos, produção de produtos de bebidas, laboratórios de animais, laboratórios de testes físicos e químicos, postos de sangue, etc.
B. Sala limpa de segurança biológica: controla principalmente a poluição das partículas vivas do objeto de trabalho para o mundo exterior e as pessoas. A pressão interna deve ser mantida negativa com a atmosfera. Exemplos: bacteriologia, biologia, laboratórios limpos, engenharia física (genes recombinantes, preparação da vacina)
Hora de postagem: Feb-07-2025