A instalação de equipamentos de processo em salas limpas deve ser baseada no projeto e na função da sala limpa. Os seguintes detalhes serão introduzidos.
1. Método de instalação do equipamento: O método ideal é fechar a sala limpa durante o período de instalação do equipamento, e ter uma porta que possa atender ao ângulo de visão do equipamento ou reservar uma passagem para permitir que novos equipamentos passem e entrem na sala limpa em ordem para evitar que a sala limpa próxima ao período de instalação seja contaminada, devem ser tomadas medidas de proteção para garantir que a sala limpa ainda atenda aos seus requisitos de limpeza e ao trabalho subsequente necessário.
2. Se o trabalho na sala limpa não puder ser interrompido durante cada período de instalação, ou se houver estruturas que precisem ser desmontadas, a sala limpa em funcionamento deve ser efetivamente isolada da área de trabalho: podem ser utilizadas paredes ou divisórias de isolamento temporário. Para não atrapalhar o trabalho de instalação, deve haver espaço suficiente ao redor do equipamento. Se as condições o permitirem, o acesso à área de isolamento pode ser feito através de canais de serviço ou outras áreas não críticas: caso tal não seja possível, deverão ser tomadas medidas para minimizar o impacto da poluição causada pelos trabalhos de instalação. A área de isolamento deve manter pressão igual ou pressão negativa. O fornecimento de ar limpo deve ser cortado na área de arranha-céus para evitar pressão positiva na sala limpa circundante. Se o acesso à área de isolamento for feito apenas através de uma sala limpa adjacente, devem ser usadas almofadas adesivas para remover a sujeira acumulada nos sapatos.
3. Após entrar na área de grande altitude, botas ou galochas descartáveis e roupas de trabalho inteiras podem ser usadas para evitar a contaminação da sala limpa. Esses itens descartáveis devem ser retirados antes de sair da área de quarentena. Métodos para monitorar a área ao redor da área de isolamento durante o processo de instalação do equipamento devem ser desenvolvidos e a frequência do monitoramento deve ser determinada para garantir que qualquer contaminação que possa vazar para a sala limpa adjacente seja detectada. Após a implementação das medidas de isolamento, podem ser instaladas diversas instalações de serviço público necessárias, como eletricidade, água, gás, vácuo, ar comprimido e tubulações de esgoto. Deve-se prestar atenção ao controle e isolamento da fumaça e detritos gerados pela operação como tanto quanto possível para evitar a propagação inadvertida para a sala limpa circundante. Deve também facilitar uma limpeza eficaz antes de remover a barreira de isolamento. Após as instalações de serviço público cumprirem os requisitos de utilização, toda a área de isolamento deverá ser limpa e descontaminada de acordo com os procedimentos de limpeza prescritos. Todas as superfícies, incluindo todas as paredes, equipamentos (fixos e móveis) e pisos, devem ser aspirados, limpos e esfregados, com especial atenção à limpeza das áreas atrás das proteções e sob os equipamentos.
4. Um teste preliminar de desempenho do equipamento pode ser realizado com base nas condições reais da sala limpa e do equipamento instalado, mas os testes de aceitação subsequentes devem ser realizados quando as condições do ambiente limpo forem totalmente atendidas. Dependendo das condições do local de instalação, você pode começar a desmontar cuidadosamente a parede de isolamento; se o fornecimento de ar limpo tiver sido desligado, reinicie-o; o horário para esta fase do trabalho deve ser cuidadosamente selecionado para minimizar a interferência com o trabalho normal da sala limpa. Neste momento, pode ser necessário medir se a concentração de partículas transportadas pelo ar atende aos requisitos especificados.
5. A limpeza e preparação do interior do equipamento e das principais câmaras de processo devem ser realizadas em condições normais de sala limpa. Todas as câmaras internas e todas as superfícies que entram em contato com o produto ou estão envolvidas no transporte do produto devem ser limpas até atingir o nível de limpeza exigido. A sequência de limpeza do equipamento deve ser de cima para baixo. Se as partículas se espalharem, partículas maiores cairão no fundo do equipamento ou no solo devido à gravidade. Limpe a superfície externa do equipamento de cima para baixo. Quando necessário, a detecção de partículas superficiais deve ser realizada em áreas onde os requisitos do produto ou do processo de produção são críticos.
6. Tendo em conta as características da sala limpa, especialmente a grande área, alto investimento, alto rendimento e requisitos de limpeza muito rigorosos da sala limpa de alta tecnologia, a instalação de equipamentos de processo de produção neste tipo de sala limpa é mais semelhante a isso de sala limpa comum. Não há requisitos específicos. Para tanto, a norma nacional “Código para Construção de Salas Limpas e Aceitação de Qualidade” divulgada fez algumas disposições para a instalação de equipamentos de processo de produção em salas limpas, incluindo principalmente o seguinte.
A. Para evitar contaminação ou mesmo danos à sala limpa (área) que passou por aceitação "vazia" durante o processo de instalação do equipamento do processo de produção, o processo de instalação do equipamento não deve apresentar vibração ou inclinação excessiva e não deve ser dividido e contaminar as superfícies do equipamento.
B. A fim de fazer a instalação do equipamento do processo de produção em sala limpa (área) ordenada e sem ou com menos assentos, e seguir o sistema de gerenciamento de produção limpa em sala limpa, garantir que o processo de instalação do equipamento de produção esteja protegido de acordo aos diversos "produtos acabados" e "produtos semiacabados" aceitos em "estado vazio", materiais, máquinas, etc. que devem ser utilizados no processo de instalação não devem emitir ou podem produzir (inclusive no funcionamento normal do limpo espaço por muito tempo) poluentes que são prejudiciais os produtos produzidos. Devem ser usados materiais de sala limpa que sejam livres de poeira, ferrugem, graxa e que não produzam poeira durante o uso.
C. A superfície de decoração do edifício da sala limpa (área) deve ser protegida com painéis de sala limpa, filmes e outros materiais; a placa de apoio do equipamento deve ser confeccionada de acordo com os requisitos do documento técnico do projeto ou do equipamento. Se não houver requisitos, devem ser utilizadas placas de aço inoxidável ou placas de plástico. Os perfis de aço carbono utilizados para fundações independentes e reforços de piso devem ser tratados com anticorrosivo e a superfície deve ser plana e lisa; materiais de vedação elásticos devem ser usados para calafetagem.
D. Os materiais devem ser marcados com ingredientes, variedades, data de fabricação, período de validade de armazenamento, instruções de método de construção e certificados de produto. Máquinas e ferramentas usadas em salas (áreas) limpas não devem ser movidas para salas (áreas) não limpas para uso. Máquinas e ferramentas não devem ser movidas para salas limpas (área) para uso. As máquinas e ferramentas utilizadas em áreas limpas devem garantir que as partes expostas da máquina não produzam poeira ou tomar medidas para evitar que a poeira polua o meio ambiente. Máquinas e ferramentas comumente usadas devem ser limpas na câmara de ar antes de serem movidas para uma área limpa e devem atender aos requisitos de estarem isentas de óleo, sujeira, poeira e ferrugem, e devem ser movidas após passar pela inspeção e fixação um sinal de "Limpar" ou "Limpar apenas área".
E. Os equipamentos do processo de produção em sala limpa (área) precisam ser instalados em “pisos específicos”, como pisos elevados. A fundação do equipamento geralmente deverá ser fixada no mezanino técnico inferior ou na placa cimentícia porosa; as atividades que precisam ser desmontadas para instalar a fundação. A estrutura do piso após o corte com serra elétrica manual deve ser reforçada e sua capacidade de carga não deve ser inferior à capacidade de carga original. Quando for utilizada uma fundação independente de uma estrutura de aço, ela deve ser feita de material galvanizado ou aço inoxidável, e a superfície exposta deve ser plana e lisa.
F. Quando o processo de instalação de equipamentos de processo de produção em sala limpa (área) exigir a abertura de furos em painéis de parede, tetos falsos e pisos elevados, as operações de perfuração não devem dividir ou contaminar as superfícies dos painéis de parede e painéis de teto falso que precisam ser retido. Após a abertura do piso elevado, quando a fundação não puder ser instalada a tempo, deverão ser instalados guarda-corpos de segurança e sinalização de perigo; após a instalação do equipamento de produção, a lacuna ao redor do furo deve ser vedada, e o equipamento e os componentes de vedação devem estar em contato flexível, e a conexão entre o componente de vedação e o painel de parede deve ser estanque e firme; a superfície de vedação de um lado da sala de trabalho deve ser plana e lisa.
Horário da postagem: 16 de janeiro de 2024