A instalação de equipamentos de processo em salas limpas deve ser baseada no projeto e na funcionalidade da sala limpa. Os detalhes a seguir serão apresentados.
1. Método de instalação do equipamento: O método ideal é fechar a sala limpa durante o período de instalação do equipamento e ter uma porta que possa atender ao ângulo de visão do equipamento ou reservar uma passagem para permitir que novos equipamentos passem e entrem na sala limpa, a fim de evitar que a sala limpa perto do período de instalação seja contaminada. Medidas de proteção devem ser tomadas para garantir que a sala limpa ainda atenda aos seus requisitos de limpeza e ao trabalho subsequente necessário.
2. Se o trabalho na sala limpa não puder ser interrompido durante cada período de instalação, ou se houver estruturas que precisem ser desmontadas, a sala limpa em funcionamento deve ser efetivamente isolada da área de trabalho: paredes ou divisórias de isolamento temporárias podem ser usadas. Para não atrapalhar o trabalho de instalação, deve haver espaço suficiente ao redor do equipamento. Se as condições permitirem, o acesso à área de isolamento pode ser feito por meio de canais de serviço ou outras áreas não críticas: se isso não for possível, medidas devem ser tomadas para minimizar o impacto da poluição causado pelo trabalho de instalação. A área de isolamento deve manter pressão igual ou negativa. O suprimento de ar limpo deve ser cortado na área de edifícios altos para evitar pressão positiva na sala limpa ao redor. Se o acesso à área de isolamento for feito apenas por uma sala limpa adjacente, almofadas adesivas devem ser usadas para remover a sujeira carregada nos sapatos.
3. Após entrar na área de alta altitude, botas ou galochas descartáveis e roupas de trabalho de peça única podem ser usadas para evitar a contaminação da sala limpa. Esses itens descartáveis devem ser removidos antes de sair da área de quarentena. Métodos para monitorar a área ao redor da área de isolamento durante o processo de instalação do equipamento devem ser desenvolvidos e a frequência do monitoramento deve ser determinada para garantir que qualquer contaminação que possa vazar para a sala limpa adjacente seja detectada. Após a implementação das medidas de isolamento, diversas instalações de serviço público necessárias podem ser instaladas, como tubulações de eletricidade, água, gás, vácuo, ar comprimido e esgoto. Deve-se prestar atenção ao controle e isolamento da fumaça e dos detritos gerados pela operação, tanto quanto possível, para evitar a propagação inadvertida para a sala limpa circundante. Também deve facilitar a limpeza eficaz antes da remoção da barreira de isolamento. Após as instalações de serviço público atenderem aos requisitos de uso, toda a área de isolamento deve ser limpa e descontaminada de acordo com os procedimentos de limpeza prescritos. Todas as superfícies, incluindo todas as paredes, equipamentos (fixos e móveis) e pisos, devem ser aspirados, limpos e esfregados, com atenção especial à limpeza das áreas atrás das proteções dos equipamentos e embaixo dos equipamentos.
4. Um teste preliminar de desempenho do equipamento pode ser realizado com base nas condições reais da sala limpa e dos equipamentos instalados, mas os testes de aceitação subsequentes devem ser realizados quando as condições do ambiente limpo forem totalmente atendidas. Dependendo das condições no local de instalação, você pode começar a desmontar cuidadosamente a parede de isolamento; se o fornecimento de ar limpo tiver sido desligado, reinicie-o; o tempo para esta fase de trabalho deve ser cuidadosamente selecionado para minimizar a interferência com o funcionamento normal da sala limpa. Nesse momento, pode ser necessário medir se a concentração de partículas em suspensão no ar atende aos requisitos especificados.
5. A limpeza e a preparação do interior do equipamento e das principais câmaras de processo devem ser realizadas em condições normais de sala limpa. Todas as câmaras internas e todas as superfícies que entram em contato com o produto ou que são transportadas devem ser limpas até atingirem o nível de limpeza necessário. A sequência de limpeza do equipamento deve ser de cima para baixo. Se as partículas se espalharem, as partículas maiores cairão no fundo do equipamento ou no solo devido à gravidade. Limpe a superfície externa do equipamento de cima para baixo. Quando necessário, a detecção de partículas superficiais deve ser realizada em áreas onde os requisitos do produto ou do processo de produção sejam críticos.
6. Considerando as características da sala limpa, especialmente a grande área, o alto investimento, a alta produtividade e os rigorosos requisitos de limpeza de uma sala limpa de alta tecnologia, a instalação de equipamentos de processo de produção neste tipo de sala limpa é mais semelhante à de uma sala limpa comum. Não há requisitos específicos. Para tanto, a norma nacional "Código para Construção de Salas Limpas e Aceitação de Qualidade" (Código para Construção de Salas Limpas e Aceitação de Qualidade) estabeleceu algumas disposições para a instalação de equipamentos de processo de produção em salas limpas, incluindo principalmente as seguintes:
A. Para evitar contaminação ou mesmo danos à sala limpa (área) que passou por aceitação "vazia" durante o processo de instalação do equipamento do processo de produção, o processo de instalação do equipamento não deve ter vibração ou inclinação excessiva e não deve ser dividido e contaminar as superfícies do equipamento.
B. Para tornar a instalação dos equipamentos do processo de produção em salas limpas (áreas) organizada e com o mínimo ou nenhum tempo sentado, e para seguir o sistema de gestão de produção limpa em salas limpas, garantir que o processo de instalação dos equipamentos de produção seja protegido de acordo com os diversos "produtos acabados" e "produtos semiacabados" aceitos em "estado vazio". Os materiais, máquinas, etc. que devem ser utilizados no processo de instalação não devem emitir ou produzir (inclusive durante a operação normal da sala limpa por um longo período) poluentes prejudiciais aos produtos produzidos. Devem ser utilizados materiais de sala limpa que sejam isentos de poeira, ferrugem, gordura e que não produzam poeira durante o uso.
C. A superfície de decoração da sala limpa (área) deve ser protegida com painéis, películas e outros materiais; a placa de suporte do equipamento deve ser fabricada de acordo com os requisitos do projeto ou da documentação técnica do equipamento. Caso não haja requisitos, devem ser utilizadas chapas de aço inoxidável ou de plástico. Os perfis de aço carbono utilizados para fundações independentes e reforços de piso devem ser tratados com anticorrosivos, e a superfície deve ser plana e lisa; materiais de vedação elásticos devem ser utilizados para calafetagem.
D. Os materiais devem ser marcados com ingredientes, variedades, data de fabricação, prazo de validade, instruções de método de construção e certificados do produto. Máquinas e ferramentas utilizadas em salas limpas (áreas) não devem ser movidas para salas não limpas (áreas) para uso. Máquinas e ferramentas não devem ser movidas para salas limpas (áreas) para uso. Máquinas e ferramentas utilizadas em áreas limpas devem garantir que as partes expostas da máquina não produzam poeira ou tomar medidas para evitar que a poeira polua o meio ambiente. Máquinas e ferramentas comumente utilizadas devem ser limpas em câmara de descompressão antes de serem movidas para áreas limpas e devem atender aos requisitos de isentas de óleo, sujeira, poeira e ferrugem, e devem ser movidas após passarem pela inspeção e afixarem a placa "Limpo" ou "Somente Área Limpa".
E. Os equipamentos do processo de produção em salas limpas (áreas) precisam ser instalados em "pisos específicos", como pisos elevados. A fundação do equipamento geralmente deve ser colocada no mezanino técnico inferior ou na laje de cimento porosa; as atividades que precisam ser desmontadas para instalar a fundação. A estrutura do piso após o corte com serra elétrica manual deve ser reforçada e sua capacidade de carga não deve ser inferior à capacidade de carga original. Quando for utilizada uma fundação independente de estrutura de aço, ela deve ser feita de material galvanizado ou aço inoxidável, e a superfície exposta deve ser plana e lisa.
F. Quando o processo de instalação de equipamentos de processo de produção em sala limpa (área) exigir a abertura de furos em painéis de parede, tetos falsos e pisos elevados, as operações de perfuração não devem dividir ou contaminar as superfícies dos painéis de parede e tetos falsos que precisam ser retidos. Após a abertura do piso elevado, quando a fundação não puder ser instalada a tempo, devem ser instalados guarda-corpos de segurança e placas de sinalização de perigo; após a instalação do equipamento de produção, a abertura ao redor do furo deve ser vedada, e o equipamento e os componentes de vedação devem estar em contato flexível, e a conexão entre o componente de vedação e o painel de parede deve ser firme e firme; a superfície de vedação em um dos lados da sala de trabalho deve ser plana e lisa.
Horário da publicação: 16/01/2024