Além do controle rigoroso das partículas, a sala limpa eletrônica representada por oficinas de produção de chips, oficinas integradas sem poeira e oficinas de fabricação de disco também têm requisitos mais rígidos para controle de temperatura e umidade, iluminação e micro-choque. Remova estritamente o impacto da eletricidade estática nos produtos de produção, para que o ambiente possa atender aos requisitos do processo de produção dos produtos eletrônicos em um ambiente limpo.
A temperatura e a umidade da sala limpa eletrônica devem ser determinadas de acordo com os requisitos do processo de produção. Quando não há requisitos específicos para o processo de produção, a temperatura pode ser de 20-26 ° C e a umidade relativa é de 30%a 70%. A temperatura da sala limpa do pessoal e da sala de estar pode ser de 16 a 28 ℃. De acordo com o padrão nacional chinês GB-50073, que está de acordo com os padrões internacionais da ISO, o nível de limpeza desse tipo de sala limpa é de 1-9. Entre eles, classe 1-5, o padrão de fluxo de ar é um fluxo unidirecional ou fluxo misto; O padrão de fluxo de ar da classe 6 é o fluxo não unidirecional e a mudança de ar é de 50 a 60 vezes/h; O tipo de fluxo de ar da classe 7 é o fluxo não unidirecional e a mudança de ar é 15-25 vezes/h; Classe 8-9 O tipo de fluxo de ar é um fluxo não unidirecional, a mudança de ar é 10-15 vezes/h.
De acordo com as especificações atuais, o nível de ruído na sala limpa eletrônica da Classe 10.000 não deve ser superior a 65dB (a).
1. A proporção completa da sala limpa de fluxo vertical na sala limpa eletrônica não deve ser inferior a 60%, e a sala limpa de fluxo unidirecional horizontal não deve ser inferior a 40%, caso contrário, será um fluxo unidirecional parcial.
2. A diferença de pressão estática entre a sala limpa eletrônica e o ar livre não deve ser inferior a 10Pa, e a diferença de pressão estática entre áreas limpas e áreas não limpas com limpeza de ar diferente não deve ser inferior a 5Pa.
3. A quantidade de ar fresco em uma sala limpa eletrônica de classe 10000 deve assumir o valor dos dois itens a seguir.
4. Compense a soma do volume de ar de escape interno e o volume de ar fresco necessário para manter o valor da pressão positiva interna.
5. Verifique se a quantidade de ar fresco fornecido para limpar a sala por pessoa por hora não é inferior a 40 metros quadrados.
Hora de postagem: abril-08-2024