Além do rigoroso controle de partículas, as salas limpas eletrônicas, representadas por oficinas de produção de chips, oficinas livres de poeira para circuitos integrados e oficinas de fabricação de discos, também possuem requisitos mais rigorosos para controle de temperatura e umidade, iluminação e microchoque. O objetivo é eliminar completamente o impacto da eletricidade estática nos produtos fabricados, de modo que o ambiente atenda aos requisitos do processo de produção de produtos eletrônicos em um ambiente limpo.
A temperatura e a umidade da sala limpa eletrônica devem ser determinadas de acordo com os requisitos do processo de produção. Quando não houver requisitos específicos para o processo de produção, a temperatura pode ser de 20 a 26 °C e a umidade relativa de 30% a 70%. A temperatura da sala limpa para funcionários e da sala de convivência pode ser de 16 a 28 °C. De acordo com a norma nacional chinesa GB-50073, que está em conformidade com as normas internacionais ISO, o nível de limpeza desse tipo de sala limpa varia de 1 a 9. Dentre eles, nas classes 1 a 5, o padrão de fluxo de ar é unidirecional ou misto; na classe 6, o padrão de fluxo de ar é não unidirecional e a taxa de renovação do ar é de 50 a 60 vezes por hora; na classe 7, o padrão de fluxo de ar é não unidirecional e a taxa de renovação do ar é de 15 a 25 vezes por hora; e nas classes 8 e 9, o padrão de fluxo de ar é não unidirecional e a taxa de renovação do ar é de 10 a 15 vezes por hora.
De acordo com as especificações atuais, o nível de ruído em uma sala limpa eletrônica classe 10.000 não deve ser superior a 65dB(A).
1. A proporção de fluxo vertical em salas limpas para eletrônica não deve ser inferior a 60%, e a proporção de fluxo horizontal unidirecional em salas limpas não deve ser inferior a 40%, caso contrário, o fluxo será parcialmente unidirecional.
2. A diferença de pressão estática entre a sala limpa eletrônica e o ambiente externo não deve ser inferior a 10 Pa, e a diferença de pressão estática entre áreas limpas e áreas não limpas com diferentes níveis de limpeza do ar não deve ser inferior a 5 Pa.
3. A quantidade de ar fresco em uma sala limpa eletrônica classe 10000 deve levar em consideração os dois itens a seguir.
4. Compensar a soma do volume de ar de exaustão interno e do volume de ar fresco necessário para manter o valor da pressão positiva interna.
5. Garanta que a quantidade de ar fresco fornecida ao ambiente limpo por pessoa por hora não seja inferior a 40 metros quadrados.
Data da publicação: 08/04/2024