Além do controle rigoroso de partículas, as salas limpas eletrônicas, representadas por oficinas de produção de chips, oficinas livres de poeira para circuitos integrados e oficinas de fabricação de discos, também possuem requisitos mais rigorosos para controle de temperatura e umidade, iluminação e microchoque. A remoção rigorosa do impacto da eletricidade estática nos produtos de produção permite que o ambiente atenda aos requisitos do processo de produção de produtos eletrônicos em um ambiente limpo.
A temperatura e a umidade da sala limpa eletrônica devem ser determinadas de acordo com os requisitos do processo de produção. Quando não há requisitos específicos para o processo de produção, a temperatura pode ser de 20 a 26 °C e a umidade relativa é de 30% a 70%. A temperatura da sala limpa pessoal e da sala de estar pode ser de 16 a 28 °C. De acordo com o padrão nacional chinês GB-50073, que está em conformidade com os padrões internacionais ISO, o nível de limpeza desse tipo de sala limpa é de 1 a 9. Entre eles, classe 1 a 5, o padrão de fluxo de ar é fluxo unidirecional ou fluxo misto; padrão de fluxo de ar classe 6 é fluxo não unidirecional e a troca de ar é de 50 a 60 vezes/h; tipo de fluxo de ar classe 7 é fluxo não unidirecional e a troca de ar é de 15 a 25 vezes/h; tipo de fluxo de ar classe 8 a 9 é fluxo não unidirecional e a troca de ar é de 10 a 15 vezes/h.
De acordo com as especificações atuais, o nível de ruído dentro de uma sala limpa eletrônica classe 10.000 não deve ser maior que 65 dB(A).
1. A proporção total da sala limpa de fluxo vertical na sala limpa eletrônica não deve ser inferior a 60%, e a da sala limpa de fluxo unidirecional horizontal não deve ser inferior a 40%, caso contrário, será um fluxo unidirecional parcial.
2. A diferença de pressão estática entre a sala limpa eletrônica e o exterior não deve ser inferior a 10 Pa, e a diferença de pressão estática entre áreas limpas e áreas não limpas com diferentes níveis de limpeza do ar não deve ser inferior a 5 Pa.
3. A quantidade de ar fresco em uma sala limpa eletrônica classe 10000 deve assumir o valor dos dois itens a seguir.
4. Compense a soma do volume de ar de exaustão interno e do volume de ar fresco necessário para manter o valor de pressão positiva interna.
5. Certifique-se de que a quantidade de ar fresco fornecida à sala limpa por pessoa por hora não seja inferior a 40 metros quadrados.
Horário da postagem: 08/04/2024