As instalações de proteção contra incêndio são uma parte importante da sala limpa. Sua importância não se deve apenas ao alto custo dos equipamentos de processo e dos projetos de construção, mas também ao fato de as salas limpas serem edifícios relativamente fechados, e algumas delas até mesmo oficinas sem janelas. As passagens da sala limpa são estreitas e tortuosas, dificultando a evacuação de pessoal e o treinamento em combate a incêndios. Para garantir a segurança da vida e dos bens das pessoas, a política de proteção contra incêndio de "prevenção em primeiro lugar, combinando prevenção e incêndio" deve ser implementada no projeto. Além de medidas eficazes de prevenção de incêndio, o projeto da sala limpa também inclui a instalação das instalações de combate a incêndio necessárias. As características de produção das salas limpas são:
(1) Existem muitos equipamentos e instrumentos de precisão, e uma variedade de gases e líquidos inflamáveis, explosivos, corrosivos e tóxicos são utilizados. O risco de incêndio de algumas peças de produção pertence à Categoria C (como difusão de oxidação, fotolitografia, implantação iônica, impressão e embalagem, etc.), e algumas pertencem à Categoria A (como extração de monocristais, epitaxia, deposição química de vapor, etc.).
(2) A sala limpa é altamente hermética. Uma vez iniciado um incêndio, será difícil evacuar o pessoal e extinguir o fogo.
(3) O custo de construção de uma sala limpa é alto e os equipamentos e instrumentos são caros. Uma vez iniciado um incêndio, as perdas econômicas serão enormes.
Com base nas características acima, as salas limpas apresentam requisitos muito elevados de proteção contra incêndio. Além do sistema de proteção contra incêndio e do sistema de abastecimento de água, dispositivos fixos de extinção de incêndio também devem ser instalados, e equipamentos e instrumentos especialmente valiosos em salas limpas precisam ser cuidadosamente selecionados.
Horário da postagem: 11/04/2024