As instalações de proteção contra incêndio são uma parte importante da sala limpa. A sua importância não se deve apenas ao facto de os seus equipamentos de processo e projetos de construção serem caros, mas também porque as salas limpas são edifícios relativamente fechados e algumas são até oficinas sem janelas. As passagens da sala limpa são estreitas e tortuosas, dificultando a evacuação do pessoal e o ensino do fogo. A fim de garantir a segurança da vida e da propriedade das pessoas, a política de proteção contra incêndio de “prevenção em primeiro lugar, combinando prevenção e incêndio” deve ser implementada no projeto. Além de tomar medidas eficazes de prevenção de incêndio no projeto da sala limpa, também são instaladas as instalações necessárias de combate a incêndio. As características de produção das salas limpas são:
(1) Existem muitos equipamentos e instrumentos de precisão, e uma variedade de gases e líquidos inflamáveis, explosivos, corrosivos e tóxicos são usados. O risco de incêndio de algumas peças de produção pertence à Categoria C (como difusão de oxidação, fotolitografia, implantação iônica, impressão e embalagem, etc.), e algumas pertencem à Categoria A (como extração de cristal único, epitaxia, deposição química de vapor, etc. .).
(2) A sala limpa é altamente hermética. Quando ocorrer um incêndio, será difícil evacuar o pessoal e extinguir o fogo.
(3) O custo de construção da sala limpa é alto e os equipamentos e instrumentos são caros. Quando ocorrer um incêndio, as perdas económicas serão enormes.
Com base nas características acima, as salas limpas têm requisitos muito elevados de proteção contra incêndio. Além do sistema de proteção contra incêndio e abastecimento de água, também devem ser instalados dispositivos fixos de extinção de incêndio, e equipamentos e instrumentos especialmente valiosos em salas limpas precisam ser cuidadosamente determinados.
Horário da postagem: 11 de abril de 2024