Proteção de incêndio e abastecimento de água em sala limpa

As instalações de proteção contra incêndio são uma parte importante da sala limpa. Sua importância não é apenas porque seus equipamentos de processo e projetos de construção são caros, mas também porque os quartos limpos são edifícios relativamente fechados, e alguns são workshops sem janelas. As passagens da sala limpa são estreitas e tortuosas, dificultando a evacuação do pessoal e ensinam fogo. Para garantir a segurança da vida e da propriedade das pessoas, a política de proteção contra incêndio de "Prevenção primeiro, a combinação de prevenção e incêndio" deve ser implementada no projeto. Além de tomar medidas eficazes de prevenção de incêndio no projeto da sala limpa, além disso, também são criadas instalações necessárias de combate a incêndio. As características de produção das salas limpas são:

(1) Existem muitos equipamentos e instrumentos de precisão, e uma variedade de gases e líquidos inflamáveis, explosivos, corrosivos e tóxicos são usados. O risco de incêndio de algumas peças de produção pertence à categoria C (como difusão de oxidação, fotolitografia, implantação de íons, impressão e embalagem, etc.) e alguns pertencem à categoria A (como puxão de cristal único, epitaxia, deposição de vapor químico, etc. .).

(2) A sala limpa é altamente hermética. Uma vez que um incêndio rompe, será difícil evacuar o pessoal e apagar o fogo.

(3) O custo de construção da sala limpa é alta e os equipamentos e instrumentos são caros. Uma vez que um incêndio rompe, as perdas econômicas serão enormes.

Com base nas características acima, as salas limpas têm requisitos muito altos para proteção contra incêndio. Além do sistema de proteção contra incêndio e abastecimento de água, os dispositivos de extinção de incêndio fixo também devem ser instalados, especialmente equipamentos e instrumentos valiosos em sala limpa precisam ser cuidadosamente determinados.