As instalações de proteção contra incêndio são uma parte importante das salas limpas. Sua importância reside não apenas no alto custo dos equipamentos de processo e dos projetos de construção, mas também no fato de as salas limpas serem edifícios relativamente fechados, alguns até mesmo sem janelas. Os corredores das salas limpas são estreitos e tortuosos, dificultando a evacuação de pessoal e o combate a incêndios. Para garantir a segurança da vida e do patrimônio, a política de proteção contra incêndio de "prevenção em primeiro lugar, combinando prevenção e combate a incêndios" deve ser implementada no projeto. Além de adotar medidas eficazes de prevenção de incêndio no projeto da sala limpa, também são instaladas as instalações necessárias de combate a incêndio. As características de produção das salas limpas são:
(1) Existem muitos equipamentos e instrumentos de precisão, e uma variedade de gases e líquidos inflamáveis, explosivos, corrosivos e tóxicos são utilizados. O risco de incêndio de algumas peças de produção pertence à Categoria C (como difusão de oxidação, fotolitografia, implantação iônica, impressão e embalagem, etc.), e alguns pertencem à Categoria A (como puxamento de monocristais, epitaxia, deposição química de vapor, etc.).
(2) A sala limpa é altamente hermética. Uma vez que um incêndio comece, será difícil evacuar o pessoal e apagar o fogo.
(3) O custo de construção de uma sala limpa é elevado e os equipamentos e instrumentos são caros. Se ocorrer um incêndio, as perdas económicas serão enormes.
Devido às características acima, as salas limpas têm requisitos muito elevados de proteção contra incêndio. Além do sistema de proteção contra incêndio e abastecimento de água, também devem ser instalados dispositivos fixos de combate a incêndio, sendo necessário identificar cuidadosamente os equipamentos e instrumentos de alto valor presentes na sala limpa.
Data da publicação: 11 de abril de 2024