A sala limpa é um edifício fechado especial construído para controlar partículas no ar no espaço. De um modo geral, a sala limpa também controlará fatores ambientais, como temperatura e umidade, padrões de movimento do fluxo de ar e vibração e ruído. Então, o que consiste na sala limpa? Vamos ajudá -lo a resolver as cinco partes:
1. Compartimento
O compartimento da sala limpo é dividido em três partes, trocar de sala, área limpa da classe 1000 e área limpa da classe 100. Coloque espaço e área limpa da classe 1000 estão equipados com chuveiros de ar. Sala limpa e área externa estão equipadas com chuveiro de ar. A caixa de passagem é usada para itens entrando e saindo da sala limpa. Quando as pessoas entram na sala limpa, elas devem primeiro passar pelo chuveiro de ar para soprar poeira transportada pelo corpo humano e reduzir a poeira trazida para a sala limpa pelo pessoal. A caixa de passagem sopra a poeira dos itens para alcançar o efeito da remoção de poeira.
2. Fluxo do sistema de ar
O sistema usa um novo sistema de ar condicionado + FFU:
(1). Estrutura da caixa de ar condicionado fresco
(2).
O filtro na sala limpa da classe 1000 usa o HEPA, com uma eficiência de filtração de 99,997%, e o filtro na sala limpa da classe 100 usa ULPA, com uma eficiência de filtração de 99,9995%.
3. Fluxo do sistema de água
O sistema de água é dividido no lado primário e secundário.
A temperatura da água no lado primário é de 7-12 ℃, que é fornecida à caixa de ar condicionado e unidade da bobina do ventilador, e a temperatura da água no lado secundário é de 12-17 ℃, que é fornecida ao sistema de bobina seca. A água no lado primário e no lado secundário são dois circuitos diferentes, conectados por um trocador de calor de placa.
Princípio do trocador de calor de placa
Bobina seca: uma bobina que não conduz. Como a temperatura no workshop de purificação é de 22 ℃ e sua temperatura do ponto de orvalho é de cerca de 12 ℃, 7 ℃ A água não pode entrar diretamente na sala limpa. Portanto, a temperatura da água que entra na bobina seca está entre 12-14 ℃.
4. Temperatura do sistema de controle (DDC): controle do sistema de bobina seca
Umidade: O ar condicionado regula o volume de entrada de água da bobina do ar condicionado, controlando a abertura da válvula de três vias através do sinal detectado.
Pressão positiva: o ajuste do ar condicionado, de acordo com o sinal da detecção de pressão estática, ajusta automaticamente a frequência do inversor do motor do ar condicionado, ajustando assim a quantidade de ar fresco que entra na sala limpa.
5. Outros sistemas
Não apenas o sistema de ar condicionado, o sistema de sala limpa também inclui a vácuo, pressão do ar, nitrogênio, água pura, águas residuais, sistema de dióxido de carbono, sistema de escape de processo e padrões de teste:
(1). Velocidade do fluxo de ar e teste de uniformidade. Este teste é o pré -requisito para outro efeito de teste da sala limpa. O objetivo deste teste é esclarecer o fluxo médio de ar e a uniformidade da área de trabalho de fluxo unidirecional em sala limpa.
(2). Detecção de volume de ar do sistema ou sala.
(3). Detecção de limpeza interna. A detecção de limpeza é determinar o nível de limpeza do ar que pode ser alcançado em sala limpa, e um contador de partículas pode ser usado para detectá -lo.
(4). Detecção de tempo autolimpante. Ao determinar o tempo de limpeza própria, a capacidade de restaurar a limpeza original da sala limpa quando a contaminação ocorre dentro da sala limpa pode ser verificada.
(5). Detecção de padrão de fluxo de ar.
(6). Detecção de ruído.
(7) .Detection of Ilumination. O objetivo do teste de iluminação é determinar o nível de iluminação e a uniformidade da iluminação da sala limpa.
(8). Detecção de vibração. O objetivo da detecção de vibração é determinar a amplitude de vibração de cada tela em sala limpa.
(9). Detecção de temperatura e umidade. O objetivo da detecção de temperatura e umidade é a capacidade de ajustar a temperatura e a umidade dentro de certos limites. Seu conteúdo inclui a detecção da temperatura do ar da oferta da sala limpa, detecção da temperatura do ar em pontos de medição representativos, detectando a temperatura do ar no ponto central da sala limpa, detectando a temperatura do ar em componentes sensíveis, detectando a temperatura relativa do ar interno e a detecção a temperatura do ar de retorno.
(10). Detecção do volume total de ar e volume de ar fresco.
Horário de postagem: janeiro-24-2024