1. Dentro de uma sala limpa, diferentes tipos de salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos devem ser configurados com base nos requisitos do processo de produção e nas propriedades físico-químicas dos produtos químicos. Tubulações devem ser utilizadas para fornecer os produtos químicos necessários aos equipamentos de produção. As salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos dentro da sala limpa geralmente estão localizadas em áreas auxiliares de produção, tipicamente no térreo de um edifício de um ou mais andares, próximo a uma parede externa. Os produtos químicos devem ser armazenados separadamente de acordo com suas propriedades físico-químicas. Produtos químicos incompatíveis devem ser colocados em salas de armazenamento e distribuição separadas, delimitadas por divisórias sólidas. Produtos químicos perigosos devem ser armazenados em salas de armazenamento ou distribuição separadas, com resistência ao fogo de pelo menos 2 horas entre salas adjacentes. Essas salas devem estar localizadas no primeiro andar do edifício de produção, próximo a uma parede externa.
2. As salas limpas na indústria eletrônica geralmente possuem salas de armazenamento e distribuição para ácidos e álcalis, bem como para solventes inflamáveis. As salas de armazenamento e distribuição de ácidos normalmente abrigam sistemas de armazenamento e distribuição para ácido sulfúrico, ácido fosfórico, ácido fluorídrico e ácido clorídrico. As salas de armazenamento e distribuição de álcalis normalmente abrigam sistemas de armazenamento e distribuição para hidróxido de sódio, torta de hidróxido, hidróxido de amônio e hidróxido de tetrametilamônio. As salas de armazenamento e distribuição de solventes inflamáveis normalmente abrigam sistemas de armazenamento e distribuição para solventes orgânicos, como o álcool isopropílico (IPA). As salas limpas em fábricas de wafers de circuitos integrados também possuem salas de armazenamento e distribuição de pasta de polimento. As salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos geralmente estão localizadas em áreas auxiliares de produção ou suporte, próximas ou adjacentes às áreas de produção limpas, normalmente no primeiro andar com acesso direto ao exterior.
3. As salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos são equipadas com barris ou tanques de armazenamento de capacidades variáveis, de acordo com o tipo, a quantidade e as características de uso dos produtos químicos necessários para a produção. Conforme normas e regulamentações, os produtos químicos devem ser armazenados separadamente e classificados. A capacidade dos barris ou tanques utilizados deve ser suficiente para o consumo de sete dias dos produtos químicos. Também devem ser fornecidos barris ou tanques de uso diário, com capacidade suficiente para suprir o consumo de 24 horas dos produtos químicos necessários para a produção. As salas de armazenamento e distribuição de solventes inflamáveis e produtos químicos oxidantes devem ser separadas e isoladas das salas adjacentes por paredes sólidas resistentes ao fogo, com classificação de resistência ao fogo de 3 horas. Se localizadas no térreo de um edifício de vários andares, devem ser separadas das demais áreas por pisos não combustíveis com classificação de resistência ao fogo de pelo menos 1,5 horas. A sala de controle centralizada para o sistema de segurança química e monitoramento dentro da sala limpa deve estar localizada em uma sala separada.
4. A altura das salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos dentro da sala limpa deve ser determinada com base nos requisitos de layout dos equipamentos e tubulações, e geralmente não deve ser inferior a 4,5 metros. Se localizadas na área de produção auxiliar da sala limpa, a altura da sala de armazenamento e distribuição de produtos químicos deve ser compatível com a altura do edifício.
Data da publicação: 01/08/2025