1. Dentro da sala limpa, diferentes tipos de salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos devem ser configurados com base nos requisitos do processo de produção do produto e nas propriedades físicas e químicas do produto químico. Tubulações devem ser usadas para fornecer os produtos químicos necessários ao equipamento de produção. As salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos dentro da sala limpa são normalmente localizadas na área de produção auxiliar, geralmente no térreo de um prédio de um ou vários andares, perto de uma parede externa. Os produtos químicos devem ser armazenados separadamente de acordo com suas propriedades físicas e químicas. Produtos químicos incompatíveis devem ser colocados em salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos separadas, separadas por divisórias sólidas. Produtos químicos perigosos devem ser armazenados em salas de armazenamento ou distribuição separadas com uma classificação de resistência ao fogo de pelo menos 2,0 horas entre salas adjacentes. Essas salas devem estar localizadas em uma sala no primeiro andar do prédio de produção, perto de uma parede externa.
2. Salas limpas em indústrias eletrônicas frequentemente possuem salas de armazenamento e distribuição para ácidos e álcalis, bem como para solventes inflamáveis. Salas de armazenamento e distribuição de ácidos normalmente abrigam sistemas de armazenamento e distribuição para ácido sulfúrico, ácido fosfórico, ácido fluorídrico e ácido clorídrico. Salas de armazenamento e distribuição de álcalis normalmente abrigam sistemas de armazenamento e distribuição para hidróxido de sódio, torta de hidróxido, hidróxido de amônio e hidróxido de tetrametilamônio. Salas de armazenamento e distribuição de solventes inflamáveis normalmente abrigam sistemas de armazenamento e distribuição para solventes orgânicos, como álcool isopropílico (IPA). Salas limpas em plantas de fabricação de wafers de circuitos integrados também possuem salas de armazenamento e distribuição de polpa de polimento. Salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos normalmente estão localizadas em áreas auxiliares de produção ou de suporte próximas ou adjacentes a áreas de produção limpa, normalmente no primeiro andar com acesso direto ao exterior.
3. As salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos são equipadas com barris ou tanques de armazenamento com capacidades variadas, de acordo com o tipo, a quantidade e as características de uso dos produtos químicos necessários para a produção do produto. De acordo com as normas e regulamentos, os produtos químicos devem ser armazenados separadamente e classificados. A capacidade dos barris ou tanques utilizados deve ser suficiente para o consumo dos produtos químicos durante sete dias. Também devem ser fornecidos barris ou tanques diários com capacidade suficiente para cobrir o consumo de 24 horas dos produtos químicos necessários para a produção do produto. As salas de armazenamento e distribuição de solventes inflamáveis e produtos químicos oxidantes devem ser separadas das salas adjacentes por paredes sólidas resistentes ao fogo, com uma classificação de resistência ao fogo de 3,0 horas. Se localizadas no primeiro andar de um edifício de vários andares, devem ser separadas das outras áreas por pisos não combustíveis com uma classificação de resistência ao fogo de pelo menos 1,5 horas. A sala de controle centralizada para o sistema de segurança e monitoramento de produtos químicos dentro da sala limpa deve estar localizada em uma sala separada.
4. A altura das salas de armazenamento e distribuição de produtos químicos dentro da sala limpa deve ser determinada com base nos requisitos de layout do equipamento e da tubulação e, geralmente, não deve ser inferior a 4,5 metros. Se localizadas na área de produção auxiliar da sala limpa, a altura da sala de armazenamento e distribuição de produtos químicos deve ser compatível com a altura do edifício.
Horário da publicação: 01/08/2025