As fontes de partículas são divididas em partículas inorgânicas, partículas orgânicas e partículas vivas. Para o corpo humano, é fácil causar doenças respiratórias e pulmonares, e também pode causar alergias e infecções virais; Para chips de silício, a fixação de partículas de poeira causará deformação ou curto-circuito de circuitos de circuitos integrados, fazendo com que os chips percam suas funções operacionais, de modo que o controle de fontes de micropolução se tornou uma parte importante do gerenciamento da sala limpa.
A importância do controle ambiental da sala limpa está em garantir que as condições ambientais no processo de produção atendam aos padrões específicos de limpeza, o que é crucial para muitas indústrias. A seguir, é apresentada a importância e o papel específico do controle ambiental da sala limpa:
1. Garanta a qualidade do produto
1.1 Evite a poluição: em indústrias como semicondutores, produtos farmacêuticos e equipamentos médicos, pequenos poluentes de partículas podem causar defeitos ou falhas do produto. Ao controlar a qualidade do ar e a concentração de partículas na sala limpa, esses poluentes podem ser efetivamente impedidos de afetar o produto.
Além do investimento inicial em equipamentos de hardware, a manutenção e o controle da limpeza da sala limpa também requer um bom sistema de gerenciamento de "software" para manter uma boa limpeza. Os operadores têm o maior impacto na limpeza da sala limpa. Quando os operadores entram na sala limpa, a poeira aumenta significativamente. Quando há pessoas caminhando para frente e para trás, a limpeza imediatamente se deteriora. Pode -se observar que a principal razão para a deterioração da limpeza são os fatores humanos.
1.2 Consistência: O ambiente da sala limpa ajuda a manter a consistência e a repetibilidade do processo de produção, garantindo assim a qualidade estável do produto.
Quanto ao substrato de vidro, a adesão de partículas de poeira causará arranhões no substrato de vidro, circuitos e bolhas curtos e outras má qualidade do processo, resultando em sucata. Portanto, o controle das fontes de poluição tornou -se uma parte importante do gerenciamento de salas limpas.
Intrusão e prevenção de poeira externa
A sala limpa deve manter a pressão positiva adequada (> 0,5 mm/hg), fazer um bom trabalho no projeto de construção preliminar para garantir nenhum vazamento de ar e limpar e limpar o pessoal, equipamento, matérias -primas, ferramentas, consumíveis, etc. antes de trazendo -os para a sala limpa. Ao mesmo tempo, as ferramentas de limpeza precisam ser colocadas e substituídas corretamente ou limpadas regularmente.
Geração de poeira e prevenção em salas limpas
Seleção apropriada de materiais de sala limpa, como quadros de partição e pisos, controle da geração de poeira em equipamentos de processo, ou seja, manutenção e limpeza regulares, pessoal de produção não pode andar por aí ou fazer grandes movimentos corporais em seus locais e medidas preventivas, como adicionar Os tapetes pegajosos são levados em estações especiais.
2. Melhore a eficiência da produção
2.1 Reduzir a taxa de sucata: reduzindo as impurezas e poluentes no processo de produção, a taxa de sucata pode ser reduzida, a taxa de rendimento pode ser aumentada e, portanto, a eficiência da produção pode ser melhorada.
Por exemplo: existem 600 etapas na produção de wafer. Se o rendimento de cada processo for de 99%, qual é o rendimento geral de 600 procedimentos de processo? Resposta: 0,99600 = 0,24%.
Para tornar um processo economicamente viável, quão alto o rendimento de cada etapa precisa ser?
• 0,999600 = 54,8%
• 0,9999600 = 94,2%
Cada rendimento do processo precisa atingir mais de 99,99% para atender ao rendimento final do processo superior a 90%, e a contaminação das micropartículas afetará diretamente o rendimento do processo.
2.2 Acelerar o processo: trabalhar em um ambiente limpo pode reduzir a limpeza desnecessária e o tempo de reforma, tornando o processo de produção mais eficiente.
3. Garanta a saúde e a segurança do pessoal
3.1 Saúde ocupacional: Para alguns processos de produção que podem liberar substâncias nocivas, os quartos limpos podem impedir que substâncias nocivas se espalhem para o ambiente externo e protejam a saúde dos trabalhadores. Desde o desenvolvimento da humanidade, a tecnologia, o equipamento e o conhecimento melhoraram, mas a qualidade do ar regrediu. Uma pessoa inala cerca de 270.000 m3 de ar durante a vida e gasta 70% a 90% de seu tempo dentro de casa. Partículas minúsculas são inaladas pelo corpo humano e depositadas no sistema respiratório. As partículas de 5 a 30um são depositadas na nasofaringe, as partículas de 1 a 5um são depositadas na traquéia e brônquios e as partículas abaixo de 1um são depositadas na parede alveolar.
Pessoas que estão em uma sala com volume insuficiente de ar fresco por um longo tempo são propensas a "síndrome do interior", com sintomas como dor de cabeça, tensão no peito e fadiga e também são propensos a doenças respiratórias e nervosas do sistema. O padrão nacional GB/T18883-2002 do meu país estipula que o volume de ar fresco não deve ser inferior a 30m3/h. pessoa.
O volume de ar fresco da sala limpa deve assumir o valor máximo dos dois itens a seguir:
um. A soma do volume de ar necessária para compensar o volume de escape interno e garantir o valor da pressão positiva interna.
b. Certifique -se de que o ar fresco exigido pela equipe da sala limpa. De acordo com as especificações do projeto da sala limpa, o volume de ar fresco por pessoa por hora não é inferior a 40m3.
3.2 Produção segura: Ao controlar parâmetros ambientais, como umidade e temperatura, riscos de segurança, como descarga eletrostática, podem ser evitados para garantir a segurança da produção.
4. Atenda aos requisitos regulatórios e padrão
4.1 Padrões da indústria: Muitas indústrias têm padrões estritas de limpeza (como a ISO 14644) e a produção deve ser realizada em salas limpas de notas específicas. A conformidade com esses padrões não é apenas um requisito regulatório, mas também um reflexo da competitividade corporativa.
Para uma bancada de trabalho limpa, galpão limpo, janela de transferência de fluxo laminar, FFU da unidade de filtro de ventilador, guarda-roupa limpo, capuz de fluxo laminar, capuz de pesagem, tela limpa, autoconfiança, produtos de chuveiro de ar, é necessário padronizar os métodos de teste de limpeza de testes de limpeza de Produtos existentes para melhorar a confiabilidade dos produtos.
4.2 Certificação e auditoria: Passe a auditoria de agências de certificação de terceiros e obtenha certificações relevantes (como GMP, ISO 9001, etc.) para aprimorar a confiança do cliente e expandir o acesso ao mercado.
5. promover a inovação tecnológica
5.1 Suporte de P&D: os quartos limpos fornecem um ambiente experimental ideal para o desenvolvimento de produtos de alta tecnologia e ajuda a acelerar o desenvolvimento de novos produtos.
5.2 Otimização do processo: em um ambiente estritamente controlado, é mais fácil observar e analisar o impacto das mudanças no processo no desempenho do produto, promovendo assim a melhoria do processo.
6. Aprimore a imagem da marca
6.1 Garantia da qualidade: Ter instalações de produção limpa de alto padrão pode melhorar a imagem da marca e aumentar a confiança do cliente na qualidade do produto.
6.2 Competitividade do mercado: Os produtos que podem ser produzidos em um ambiente limpo são frequentemente considerados como um símbolo de alta qualidade e alta confiabilidade, o que ajuda as empresas a se destacar na concorrência feroz do mercado.
7. Reduza os custos de reparo e manutenção
7.1 Estenda a vida útil do equipamento: os equipamentos e as ferramentas de produção que operam em condições limpas são menos suscetíveis à corrosão e desgaste, estendendo assim a vida útil do serviço e reduzindo a frequência e os custos de manutenção.
7.2 Reduza o consumo de energia: otimizando o design e o gerenciamento de salas limpas, melhore a eficiência energética, reduza o consumo de energia e os custos operacionais.
Quatro princípios de gerenciamento de operação de sala limpa:
1. Não traga:
A estrutura do filtro HEPA não pode vazar.
A pressão projetada deve ser mantida em ambientes fechados.
Os operadores devem trocar de roupa e entrar na sala limpa após o chuveiro.
Todos os materiais, equipamentos e ferramentas devem ser limpos antes que possam ser trazidos.
2. Não gera:
As pessoas devem usar roupas sem poeira.
Reduzir ações desnecessárias.
Não use materiais fáceis de gerar poeira.
Itens desnecessários não podem ser trazidos.
3. Não acumule:
Não deve haver cantos e periferias da máquina difíceis de limpar ou limpar.
Tente minimizar os dutos de ar expostos, tubos de água, etc. dentro de casa.
A limpeza deve ser realizada de acordo com os métodos padrão e os tempos especificados.
4. Remova imediatamente:
Aumente o número de mudanças de ar.
Exaustão perto da parte de geração de poeira.
Melhore a forma do fluxo de ar para impedir que a poeira adere ao produto.
Em resumo, o controle ambiental da sala limpa é de grande importância para garantir a qualidade do produto, melhorar a eficiência da produção, proteger a saúde e a segurança do pessoal, atender aos requisitos regulatórios, promover a inovação tecnológica e melhorar a imagem da marca. As empresas devem considerar completamente esses fatores ao criar e manter salas limpas para garantir que as salas limpas possam atender às necessidades de produção e P&D.
Hora de postagem: fevereiro-12-2025