① A sala limpa é uma grande consumidora de energia. Seu consumo de energia inclui a eletricidade, o calor e o resfriamento usados pelos equipamentos de produção na sala limpa, o consumo de energia, o consumo de calor e a carga de resfriamento do sistema de ar condicionado de purificação, o consumo de energia da unidade de refrigeração e o tratamento de exaustão. O consumo de energia e o consumo de calor do dispositivo, o consumo de energia, o consumo de calor e a carga de resfriamento da preparação e transporte de várias substâncias de alta pureza, o consumo de energia, o consumo de calor, o consumo de energia de resfriamento e iluminação de várias instalações públicas de energia. O consumo de energia de uma sala limpa sob a mesma área é 10 vezes maior que o de um prédio de escritórios. Algumas salas limpas na indústria eletrônica exigem grandes espaços, grandes áreas e grandes volumes. Com o desenvolvimento da ciência e da tecnologia, para atender aos requisitos de desempenho em larga escala e alta confiabilidade da produção de produtos eletrônicos, equipamentos de produção de precisão em larga escala integrados a múltiplos processos para produção contínua são frequentemente utilizados. Para isso, eles precisam ser dispostos em uma grande área de construção, área de produção limpa e tecnologia superior e inferior. O "mezanino" é um espaço amplo e um edifício combinado de sala limpa de grande porte.
2. Tubulações de transporte correspondentes e instalações de tratamento de gases de escape necessárias são frequentemente instaladas em salas limpas na indústria eletrônica. Essas instalações de tratamento de gases de escape não apenas consomem energia, mas também aumentam o volume de ar fornecido para a sala limpa. Salas limpas para produtos eletrônicos consomem muita energia. As instalações de purificação de ar necessárias para atender a um ambiente de produção limpo, incluindo sistemas de ar condicionado purificado e sistemas de resfriamento e aquecimento, consomem muita energia. Se os requisitos de nível de limpeza do ar forem rigorosos, devido ao volume de ar fornecido limpo e ao grande volume de ar fresco, o consumo de energia será alto e a operação será contínua, dia e noite, quase todos os dias do ano.
③Continuidade do uso de diversas instalações consumidoras de energia. Para garantir a consistência dos níveis de limpeza do ar em diversas salas limpas, a estabilidade de diversos parâmetros funcionais internos e as necessidades dos processos de produção dos produtos, muitas salas limpas operam on-line, geralmente 24 horas por dia e noite. Devido à operação contínua da sala limpa, o fornecimento de energia, o resfriamento, o aquecimento, etc., devem ser programados de acordo com os requisitos do processo de produção do produto ou o planejamento de produção da sala limpa, permitindo o fornecimento de diversas fontes de energia em tempo hábil. No consumo de energia de diversos tipos de salas limpas, além do fornecimento de energia dos equipamentos de produção do produto e da água de resfriamento, substâncias de alta pureza, produtos químicos e gases especiais, que estão intimamente relacionados à variedade do produto, o fornecimento de energia na sala limpa varia de acordo com a variedade do produto e o processo de produção. Uma grande parte do consumo total de energia é o consumo de eletricidade e resfriamento (calor) de máquinas de refrigeração e sistemas de ar condicionado de purificação.
④ De acordo com os requisitos do processo de produção e os requisitos de controle ambiental das salas limpas, seja no inverno, na estação de transição ou no verão, há uma demanda pela chamada "energia térmica de baixo nível" com temperatura abaixo de 60 °C. Por exemplo, o sistema de ar condicionado de purificação requer o fornecimento de água quente em diferentes temperaturas para aquecer o ar fresco externo no inverno e nas estações de transição, mas o fornecimento de calor é diferente em diferentes estações. Uma grande quantidade de água pura é usada principalmente em salas limpas para a produção de produtos eletrônicos. O consumo horário de água pura nos processos de fabricação de chips de circuitos integrados e painéis TFT-LCD atinge centenas de toneladas. Para obter a qualidade necessária de água pura, a tecnologia de osmose reversa RO é geralmente utilizada. O equipamento RO requer que a temperatura da água seja mantida em torno de 25 °C e, frequentemente, precisa fornecer água quente a uma determinada temperatura. Pesquisas realizadas em algumas empresas mostram que, nos últimos anos, a energia térmica de baixa pressão em salas limpas, como o calor de condensação de refrigeradores, tem sido gradualmente utilizada para fornecer água quente a baixa temperatura, em torno de 40 °C, substituindo o uso original de vapor de baixa pressão ou água quente a alta temperatura para aquecimento/pré-aquecimento, com evidentes benefícios econômicos e de economia de energia. Portanto, salas limpas contam tanto com os "recursos" de fontes de calor de baixa pressão quanto com a demanda por energia térmica de baixa pressão. Esta é uma das características importantes das salas limpas que integram e utilizam energia térmica de baixa pressão para reduzir o consumo de energia.
Horário da publicação: 14/11/2023